সিলিকন ওয়েফার আল্ট্রাসনিক ক্লিনিং মেশিনের পরিষ্কারের পদ্ধতি কে জানে?

তিন ধরনের শারীরিক পরিচ্ছন্নতা রয়েছে:

1. স্ক্রাব বা স্ক্রাব: কণা দূষণ এবং ফিল্মের উপর আটকে থাকা বেশিরভাগ ফিল্ম অপসারণ করতে পারে।

2. উচ্চ চাপ পরিস্কার: এটা তরল সঙ্গে শীট পৃষ্ঠ স্প্রে, এবং অগ্রভাগ চাপ কয়েক শত বায়ুমণ্ডল পর্যন্ত হয়. জেট অ্যাকশন দ্বারা উচ্চ চাপ পরিষ্কার করা, ফিল্ম স্ক্র্যাচ এবং ক্ষতি তৈরি করা সহজ নয়। যাইহোক, উচ্চ চাপের ইনজেকশন ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক প্রভাব তৈরি করবে, যা অগ্রভাগ থেকে ফিল্মের দূরত্ব এবং কোণ সামঞ্জস্য করে বা অ্যান্টিস্ট্যাটিক এজেন্ট যোগ করে এড়ানো যেতে পারে।

অতিস্বনক পরিষ্কার: ওয়েফারের দূষণ বন্ধ করার জন্য cavitation দ্বারা দ্রবণে অতিস্বনক শব্দ শক্তি। যাইহোক, গ্রাফ করা ওয়েফার থেকে 1 মাইক্রনের চেয়ে ছোট কণা অপসারণ করা আরও কঠিন। যদি ফ্রিকোয়েন্সিটি ইউএইচএফ-এ বাড়ানো হয় তবে পরিষ্কারের প্রভাব আরও ভাল।

রাসায়নিক পরিষ্কার: পারমাণবিক, আয়ন অদৃশ্য দূষণ অপসারণ করার জন্য, আরও পদ্ধতি রয়েছে, দ্রাবক নিষ্কাশন, পিকলিং (সালফিউরিক অ্যাসিড, নাইট্রিক অ্যাসিড, অ্যাকোয়া অ্যাকোয়া, বিভিন্ন মিশ্র অ্যাসিড ইত্যাদি) এবং প্লাজমা পদ্ধতি। হাইড্রোজেন পারক্সাইড সিস্টেম পরিষ্কারের পদ্ধতির ভাল প্রভাব এবং সামান্য পরিবেশ দূষণ রয়েছে।